SEM扫描电镜 场发射扫描电子显微镜 场发射电镜SU5000
详细说明
特点
高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
规格
- *1:
- 减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
- *2:
- 低真空功能(包含5分割半导体探测器)
- *3:
- 空压机(本地采购)